在線分析儀表的性能指標涵義廣泛，但大體上可以分成兩類。

一類性能指標與儀器的工作范圍和工作條件有關。工作范圍主要是指測量對象、測量范圍等，對于不同的分析儀器，工作范圍方面的性能指標是不同的。工作條件包括環境條件、樣品條件、供電供氣要求、儀表的防爆性能和防護等級等。在線分析儀表直接安裝在工業現場，對工藝流程物料連續進樣分析，因此，環境條件對儀器的適應性要求比較嚴格，儀器對樣品條件的要求也比較嚴格，工作條件方面的性能指標與實驗室分析儀器相比，有較大區別。

另一類性能指標與儀器的分析信號，即儀器的響應值有關。這類性能指標對不同的分析儀器，數值和量綱可能有所不同，但它們的定義是共同的，是不同類型分析儀器共同具有的性能指標，是同一類分析儀器進行比較的重要依據，也是評價分析儀器基本性能的重要參數。這類性能指標主要有靈敏度、檢出限、重復性、準確度、分辨率、穩定性、線性范圍、響應時間等。

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